二手 EVG / EV GROUP 150 #293809532 待售

EVG/EV GROUP 150是一款高度先進的光刻設備，設計用於半導體行業的光刻生產。它配備了先進的冷卻系統，能夠產生高達EVG 150毫米尺寸的高分辨率光掩模。該設備采用液晶顯示屏（LCD）觸摸屏界面,允許用戶以高清清晰度顯示圖像。該機采用最先進的液晶顯示器（LCD）觸摸屏界面，提供最佳用戶控制和高水平圖像分辨率。此外,高解析度HD影像還確保了口罩生產的高精度。該工具能夠實現每像素1.2微米的分辨率,該分辨率足夠高,可使設備功能尺寸降至0.5微米。該資產配備了真空泵和用於對準和定位基板的舞臺。該級還包括晶片卡盤和晶片旋轉驅動模型。此外，該設備還包括一個可移動的熱板，以幫助基板加熱過程並提供整個基板的溫度均勻性。光掩模是使用光敏乳劑曝光的，這種乳劑散布在底物上。該系統還配備了先進的快門裝置和照明工具，以實現最佳曝光時間和均勻的光輸出。然後使用專門的評估機器對光掩碼進行評估,以檢查是否存在缺陷或不一致之處。EV GROUP 150工具具有出色的後期生產分析資產,用於評估光刻工藝的性能並確保生產水平持續較高。該模型不僅能夠分析光刻技術，而且能夠分析其他生產工藝。自動化的報告功能使用戶能夠快速評估其生產結果。150為用戶提供了先進光敏系統所需的便利、靈活性和可靠性。憑借其高分辨率和強大的功能,用戶可以確保生產一致的高分辨率口罩、高效的生產分析和可靠的操作。