二手 EVG / EV GROUP 150 #293820988 待售
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EVG/EV GROUP 150光抗蝕劑系統是一種前沿設備，旨在提供高精度的抗蝕劑成像和制圖結果。它非常適合掩碼曝光工作和直接寫入類型的應用程序。系統核心部件包括低能準分子激光器、電動投影鏡頭、真空卡盤，以及多種軟硬件模塊。EVG 150的激光器波長為248nm，4.6mJ脈沖能量，短載荷周期脈沖長度為40ns。它能夠提供功能尺寸小於0.2 µm的微觀結構。而且，圖樣精度在一微米以內。電動投影鏡頭在30mm-70mm的視場範圍內提供高分辨率成像能力。垂直16倍，水平放大10倍，數值孔徑0.4。鏡頭具有手動調節的瞳孔功能,可精確對焦.EV GROUP 150的真空卡盤允許在暴露過程中在沒有任何基板應力或機械變形的情況下進行高質量的抗蝕性陣列。其真空卡盤可容納尺寸不超過4英寸的基板,易於清除,以便進行基板加載、定位和固定夾緊。150由於其先進的軟件和硬件組件而產生了最精確的結果。它的軟件允許用戶交互和控制成像和陣列工具,而其硬件組件則提供高級功能,如自動對焦、成像比較前後、自動陣列和曝光管理以及實時分析。這使用戶能夠快速調整參數並加快生產時間。EVG/EV GROUP 150光刻系統是半導體光刻、平板顯示器、高級封裝、微流體等應用的完美解決方案。它提供出色的光學性能、對成像和陣列參數的精確控制,以及更短的處理時間,對於獲得最高質量的結果至關重要。
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