二手 EVG / EV GROUP 150 #9195110 待售
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EVG/EV GROUP 150是一種光敏設備,用於將感光材料層沈積到各種物體的表面上。該系統是一種先進的材料加工工具,用於納米翅目、三維薄膜和功能塗層的大規模生產。該單元包括兩個主要組件:掃描儀和基板級.該掃描儀是一種具有5軸定位和0.8 μ米分辨率的掃描投影顯微光刻機。它是用來形成納米尺度特征的基板位置靈敏和準確。基質級用於安裝和對齊標本。它在XZY平面上提供6自由度(DOF)運動,配準標記,也能旋轉和旋轉標本。一般而言,該工具用於將光刻膠層沈積到基材上。這是通過將基板暴露在紫外線下來完成的。然後開發出光致抗蝕劑,有選擇地去除暴露的區域,允許形成所需的圖樣。曝光和開發的過程重復多次,以達到理想的模式和薄膜。資產還有可用於編程曝光和開發參數如溫度、曝光持續時間等的軟件。這樣可以提高執行復雜進程時的精度。此外,該模型還提供了與其他設備和軟件的各種接口和集成功能,從而實現了更高效的設置和工作流程。最後,該設備有各種安全特性,如內置報警和緊急關閉如果任何安全級別被破壞。這確保了所有用戶的安全且無錯誤的操作。總體而言,EVG 150光刻膠系統是一種先進的材料加工工具,使用戶能夠以高精度和精確度將光刻膠層沈積到基板上。該單元提供了一系列功能和功能,使用戶能夠安全高效地執行復雜的流程。
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