二手 EVG / EV GROUP 150 #9289394 待售

EVG/EV GROUP 150是一種為晶片級制造而設計的光阻設備。它由一系列不同的模塊組成，每個模塊都有自己的目的。系統的主要部件包括晶圓站、熱板、光源、控制站和環境室。晶圓站允許晶圓的裝卸，以及對準和清洗程序。熱板用於在曝光過程之前加熱基板，而光源則用於在晶圓上創建所需的圖樣。控制站允許用戶調整模式大小、形狀和曝光時間等參數，以及監控過程。最後，環境室用於維護整個暴露過程的受控環境。光致抗蝕劑單元可達到高達12英寸的基板，分辨率為1微米。該機器能夠進行退火、差分蝕刻和晶圓稀釋等各種工藝。它還配備了單發、步進、矩陣等不同的曝光技術。漸逝的照明能力允許生產分辨率高達0.2微米的3維設計。該工具也是用戶友好的，可以從遙控器操作。它還有一個內置屏幕，可以方便地監控過程。資產還具有自動監視和警告模型,可報告過程中的任何問題。總之，EVG 150是一種可靠、用戶友好的光阻設備，適合晶片級制造。它的分辨率為1微米，可以用各種曝光技術制造多達12英寸的基板。它還配備了自動化的監視和警告系統，以便於操作和監測過程。