二手 EVG / EV GROUP 150 #9396120 待售

EVG/EV GROUP 150是一種光阻設備,其設計目的是在廣泛的過程步驟中提供有效、高性能的結果。光致抗蝕劑廣泛應用於微電子學和半導體的應用，該系統為實現光刻工藝提供了最新、最可靠的工具。EVG 150具有集成的模塊化平臺,可快速為各種應用程序重新配置。這個單元提供了全系列的光刻硬件和配件，包括一個I線源，一個能量束，一個照明模塊，一個掃描掃描儀，和一個反射光掩模。這些組件設計為協調協作,提供自動化的高性能流程解決方案。該機還具有高精度元件和一系列高性能選項，如自動對焦、無刷真空級以及先進的圖像校正技術。該工具的集成平臺還配備了易於使用且功能強大的用戶界面,包括圖形用戶界面（GUI）和文本向導,使用戶能夠快速輕松地在流程步驟和配置之間進行切換。用戶界面還使用戶能夠訪問廣泛的特定於產品的存儲庫並將其集成到資產中,從而更容易采用已開發和測試的流程和配置。該模型還具有一系列特定於流程的功能和監視實用程序,以幫助操作員管理工作流並確保最高質量的結果。這包括通過自動溫度控制設備監測和控制固化、幹燥、烘烤和剝離等生產過程的能力。此外,為了增強控制和流程連續性,系統還支持針對特定層的流程優化的各種配方。除了其強大的平臺外，EV GROUP 150還集成了廣泛的與生產相關的監控、視覺、質量控制能力，包括自拍掩碼、圖像處理、圖像恢復、產量監控等。這些功能可確保用戶在不影響質量或性能的情況下實現高效、不間斷的生產。150提供了端到端解決方案,可在廣泛的光刻膠相關工藝步驟中提供卓越的效果。憑借其創新可靠的組件、集成的平臺和強大的用戶界面，這個單元可以幫助用戶實現快速有效的效果，以滿足他們最苛刻的要求。