二手 EVG / EV GROUP 150 #9398332 待售
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EVG/EV GROUP 150光刻設備是一種工業級微電子光刻系統,旨在以精確和速度蝕刻高性能微電子元件。該單元基於光刻技術,一種用於將錯綜復雜的形狀轉移到基板上的技術。EVG 150是一種自動化機器,包括步進/掃描儀單元、自動對焦工具和掃描儀控制器。步進/掃描儀單元是資產的主要組成部分,包含一個帶有固定玻璃臺的舞臺,用於基板放置。它具有高精度顯微鏡物鏡,失真極低,小於5納米(nm)。這允許精確成像和雕刻所需的微電子電路的精確布局。自動對焦模型是光刻設備的另一個關鍵組成部分,因為它使用冷卻的數碼相機將圖像精確聚焦到基板上。該系統還可以檢測基板上的缺陷,對光刻膠進行實時成像,以確保設備的最佳性能。這是通過計算所使用的光的強度並相應調整自動對焦來完成的。此外,EV GROUP 150利用激光引導的可視化單元來確保刻入基板的圖樣的準確性。150的設計非常可靠,運行時間大於99.5%。這是由於它具有高度自動化的特性,這使得機器能夠在操作幹預最少的情況下運行。它還利用先進的工藝優化技術,使設備能夠快速確定任何給定應用的最佳參數和設置。此外,該工具采用模塊化方法進行設計,允許用戶自定義最適合其個人需求的選項和附加組件。總體而言,EVG/EV GROUP 150光刻膠資產是一個令人印象深刻的自動化解決方案,用於生產高精度、高性能的微電子元件。它提供業界領先的精確度和準確性,並且可以輕松生成高度復雜的設計。EVG 150具有模塊化設計、堅固的功能集和業界領先的可靠性,是微電子行業的最佳選擇。
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