二手 EVG / EV GROUP 250AV #9200716 待售

EVG/EV GROUP 250AV是為先進光刻技術人員設計的先進光刻設備。該系統能夠高精度地創建復雜的結構，使其成為光刻技術的理想工具。該裝置采用特殊的真空卡盤和PC控制的電動級，能夠在X、Y和Z軸上精確移動。這確保了要處理的晶片或基板的精確定位。這使得機器能夠以最小的錯誤創建復雜和詳細的模式。該工具還具有自動晶片對準資產，該資產使用激光垂直參考來檢測晶片的位置，並將其正確放置在目標圖樣上。這對於精確對齊至關重要，並消除了由於不對齊而造成模式不必要失真的可能性。曝光過程由高強度汞燈處理。該燈提供了一種近乎紫外線的光譜，既可用於光刻膠曝光，也可用於幹式抗蝕刻。曝光過程的每一個參數，如強度、持續時間和波長，都經過精心控制，內建多曝光配方的內存功能可以保存，以備將來使用。EVG 250AV還采用了電偏置模型來進一步控制暴露過程。這種偏置設備對被暴露的材料施加恒定電壓，允許精確調整各種物理特性。這也可用於保溫層和化學機械拋光等後處理程序。最後，該系統還配備了能夠精確控制環境溫度的先進熱控單元。這確保了整個基板的準確和均勻的暴露，確保了一致的結果，避免了燒焦或損壞細膩的材料。EV GROUP 250AV光刻機是一種先進、高性能的設備，其設計目的是創造出精確度和質量無與倫比的微觀模式。該工具結合了先進的機動化級、自動晶片對準和先進的熱控制,能夠以卓越的精確度和精確度創建令人難以置信的復雜結構。