二手 EVG / EV GROUP 250AV #9400866 待售

EVG/EV GROUP 250AV是一種光阻設備,用於創建多種應用的微量和納米結構,包括薄膜電子、醫療技術和光學元件。該系統將防腐塗層、曝光、顯影和後處理結合在一個單元中,允許統一且可重復的陣列,而無需多種工具和工藝。EVG 250AV包括一個獨特的抗性塗層沈積頭，提供高達1 KV的電荷劑量。這頭均勻地塗覆基板與光敏材料，通常是光硬化和化學放大光敏的組合。通過控制光致抗蝕劑在基材上的劑量，用戶可以達到非常均勻和高分辨率的模式，非常適合設備制造。該機還結合了具有高級設計算法和自動對準功能的光學接口。這種先進的界面使用戶能夠以卓越的放置精度和均勻性將明確定義的模式轉移到基板上。此外，光學界面支持廣泛的曝光波長，允許在設備制造中使用先進材料。EV GROUP 250AV包括一個高精度的開發工具,它可以自動將顯影劑分配到塗層基板上。這一資產確保了統一和一致的發展，使模式轉移具有更高的分辨率和統一性。此外，不同類型的基材可以開發而無需改變配方或硬件。最後，250AV包括一個後處理步驟，使用戶能夠去除任何多余的光刻膠並提高圖樣傳輸質量。這種後處理使用直流電（DC）灰化和等離子體輔助灰化，有選擇地從基板表面清除不需要的殘留物。此外，用戶可以結合後蝕刻等處理，完成模式轉移過程。總之，EVG/EV GROUP 250AV光致抗蝕劑模型為用戶提供了一個自動、統一的微量和納米結構陣列解決方案。該設備可實現高效的模式傳輸,並具有高分辨率、均勻性和準確性,從而能夠制造復雜的設備。