二手 FOXBORO 920M #9033117 待售

FOXBORO 920M設備是一種光刻工藝控制系統，旨在提供對先前暴露於光刻膠表面的表面質量和塗層結構的精確控制。該單元由一個直流電源、輻射源、光電傳感器、工藝室、控制單元等幾個組件組成。可以對920M臺機器進行編程,以從目標厚度、溫度和蝕刻速率控制光敏塗層的開發。FOXBORO 920M的直流電源通常用於傳輸塗在基板上的感光材料。為了使控制水平最大化，對電源進行調節，以在整個過程周期中保持一致的功率或電流水平。輻射源用於產生光刻膠和基板所需波長的光束或輻射。然後將該光束指向光電傳感器,以監視塗層。920M工藝室的設計旨在為光敏材料和基材的加工提供高度受控的環境。腔室通常充滿惰性氣體或真空，以減少氧氣和其他汙染物對基板的影響。此外，腔室通過溫度和濕度的控制，在整個過程中保持一致的環境。一旦腔室加載，塗層暴露於輻射源，光電傳感器在塗層進行過程中測量塗層。FOXBORO 920M的控制單元為用戶提供了調整光刻塗層參數的能力。用戶可以調整過程時間、曝光時間、溫度、濕度、電流和電壓。此外，控制單元允許跟蹤塗層在發展過程中的進展，並由光電傳感器進行監控。該控制單元還提供了對塗層工藝進行詳細分析的能力，可用於進一步優化光敏塗層。總體而言,920M提供了一個優秀的光刻塗層工藝控制工具.它旨在從頭到尾對塗層工藝進行精確、自動化的控制。FOXBORO 920M可用於控制光敏塗層的發展到目標厚度、溫度和蝕刻速率。該資產還允許對塗層工藝進行詳細的監控和優化。