二手 FSI EXCALIBUR #112368 待售
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ID: 112368
晶圓大小: 8"
優質的: 1995
Anhydrous HF vapor cleaner, 8"
Model number: 901498-301
ISR System
PACIFIC SCIENTIFIC 2VM2 Motor
(2) Stations
Hard drive: Missing
1995 vintage.
FSI EXCALIBUR是專門為先進的光掩模開發過程而設計的光阻設備。它生產的光掩模具有精確度和精確度以及增強的分辨率。開發EXCALIBUR系統是為了滿足不斷發展的半導體工業的需要，使光掩模的生產達到盡可能高的水平。FSI EXCALIBUR單元能夠提供精確和精確的光掩模生產.該機利用多個分配、照明和掃描階段，最多15個小部件分配頭和多個照明系統。EXCALIBUR工具的精確度使得能夠創建特征尺寸極小、精度高的光掩碼。該資產還為用戶提供了通過設置曝光、掃描速度和重復次數而無需手動幹預來優化流程的能力。這有助於提高速度和分辨率,同時允許用戶最小化錯誤。FSI EXCALIBUR還結合了光刻工藝證明的先進圖像處理技術。與標準的光致抗蝕劑方法相比，這與較高的分配能力相結合，可產生更高的分辨率和透明度。該模型的用戶友好界面允許用戶在表單操作和設置處理配方之間快速、輕松地進行切換。此外，FS EXCALIBUR設備還允許用戶對其進行編程，以進行高度自動化的處理。這樣可確保更好地控制零件和制造過程,並提高可重復性和吞吐量。FSI EXCALIBUR是一個理想的解決方案，用於需要高精度和高分辨率的半導體公司的光掩模生產與自動化系統的便利。它旨在降低成本、優化操作和提高整體光掩模質量。EXCALIBUR憑借其高精度的分配、照明和掃描階段，生產出精確度和分辨率都超過所有預期的光掩模。
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