二手 FSI EXCALIBUR #293759461 待售

FSI EXCALIBUR是設計用於生產高性能集成電路的光刻設備。該系統具有出色的微觀分辨率、控制和一致性。它包括精密的軟件,能夠控制薄膜塗層、攝影、分辨率和曝光能力。此單元非常適合生產獨占性能集成電路,因為它能夠生產更高分辨率、更小、更高效的電路。EXCALIBUR利用光刻工藝稱為噴塗方式。該工藝用於將薄膜層轉移到基板上，該基板由薄膜層、抗反射塗層和正光致抗蝕劑組成。這層薄膜由二氧化矽、二氧化鈦和有機物的混合物組成，在光學透明的基板上形成穩定的塗層。這種防反射塗層優化了薄膜，非常適合更高分辨率的成像，並且可以防止汙染或環境影響。最後一層是光致抗蝕劑，作為薄膜層的「掩模」。這種光刻膠保護薄膜免受光刻過程中使用的紫外線的影響。成像過程從投影儀中使用635nm或355nm激光開始。這種激光投射需要暴露在薄膜層上的幾何形狀。然後，這些幾何形狀會暴露在光線下，並開始與光刻膠發生反應。進一步發展後，未曝光的光刻膠區域變得透明，而暴露的抗蝕劑則保持不透明。這被稱為積極抵抗發展。下一步是蝕刻過程，將所需的圖案蝕刻到基材中。這包括切碎基材，塗抹蝕刻面膜，並將其浸入化學浴。這種蝕刻工藝需要精確度和精確度，因為光刻膠已被激光照射降低。蝕刻後，由於暴露於蝕刻物中，薄膜層必須移除。這是通過一個叫做ashing或燒掉薄膜層的過程來完成的。Ashing process is completed with a software controlled beven.這個烤箱將在設定的溫度下運行，產生一股薄膜氣體。當薄膜層在基板上不再可見時,灰化過程即完成。最後，進行清潔過程，從基板上除去剩余的光致抗蝕劑。這通常涉及使用堿性溶液，或化學和機械清潔技術的組合。基板清洗幹燥後，集成電路準備好進行最後檢查。FSI EXCALIBUR是生產專屬性能集成電路的理想機器。其精確一致的光刻工藝保證了芯片中幾何形狀的高分辨率。EXCALIBUR結合其抗反射塗層、光致抗蝕劑、灰泥和清洗工藝，是生產高性能集成電路的絕佳解決方案。