二手 FSI EXCALIBUR #293759465 待售

FSI EXCALIBUR是一種光刻設備，用於創建單片器件、超細電路圖樣和高精度結構尺寸。該系統結合使用光掩碼、抗蝕劑和激光處理，以產生所需的結果。光致抗蝕劑單元使用液體光致抗蝕劑，然後將其暴露在紫外線下。這就產生了一個有圖樣的抵抗膜。該膜由激光機和掃描臺進一步加工，用於過程中的成像、電氣分析和表面地形。激光工具可用於精密燒蝕，也可用於切割抗蝕劑膜中的蝕刻線。然後,可以刪除抗蝕劑以創建所需的陣列。資產的光掩模是一塊平板，上面放置了所需的電路或結構圖樣。然後將這種圖樣暴露於液態光致抗蝕劑中。然後利用激光模型將所需的圖樣投射到抗蝕膜中，然後將圖樣蝕刻到抗蝕膜中。該設備還用於通過計算機控制的系統監測和控制蝕刻過程。這樣可以確保結果的準確性,並確保開發的設備的最高精度級別。此外，該單元還配備了用於3D成像和數據分析的內置軟件，提供詳細的過程後分析能力。總體而言，EXCALIBUR是一種光刻機，它提供了一種簡單但高度精確的設備結構創建方法。它使用光掩模、抗蝕膜和激光處理產生極精確的結構，精確度很高。其3D成像和數據分析功能保證了準確的結果,非常適合創建高精度設備和超精細電路模式。