二手 FSI EXCALIBUR #293815451 待售

FSI EXCALIBUR是一種用於半導體制造的光刻設備,它利用最新技術提供可靠、高效和經濟高效的光刻能力。該系統以先進的化學性能和定制設計的硬件為基礎,提供高性能分辨率、可重復性和機組停機時間,從而實現了經濟高效的設備生產,並縮短了半導體制造中每一步的周期時間。EXCALIBUR機的核心是一種專有的光刻膠制劑，在多次拍攝時具有很強的附著力、高分辨率和最小的模式傳遞損失。該制劑的特點是聚合物、交聯劑、光化學物質和溶劑的專有混合物，它們共同提供所需的性能。分配到基板上後，抗蝕劑進入FSI EXCALIBUR曝光過程，使用直接成像面罩對準器和獨特的曝光程序開發，以確保盡可能高的分辨率和圖像保真度。然後通過洪水處理或通過靜態或動態噴霧分配過程開發基板。EXCALIBUR平臺除了光刻工具外，還具有原位儀表控制和快速準確的檢查功能，在多次拍攝中提供可重復和可靠的結果。這樣可以確保設計保持不變,並且生產成本將保持較低水平。此外，專有開發和濕洗工藝旨在完全消除針孔和光致抗蝕劑殘留物，以確保在任何制造過程中取得可靠的結果。FSI EXCALIBUR平臺還提供了一個高度可配置的接口,便於調整和校準。這使用戶能夠根據所需的基材和工藝快速準確地定制資產的功能,從而確保最大程度的生產效率和成本效率。綜上所述,EXCALIBUR光致抗蝕劑模型是半導體制造的多合一解決方案,以最高的生產率和最高的成本效率提供了優異的效果。FSI EXCALIBUR設備憑借其定制設計的硬件、專有的光刻膠配方以及精密的現場儀器控制和檢查，能夠驅動光刻工藝的每一步，並提供可靠和可重復的結果。