二手 FSI EXCALIBUR #293818919 待售

FSI EXCALIBUR是一種設計用於電子電路制造過程的光阻設備。它由光刻膠曝光機和光刻膠加工站組成。在光刻中，光致抗蝕劑層用於將電路圖樣從掩模傳遞到半導體晶圓上。光致抗蝕劑是一種光敏材料，因此為了產生所需的結果，光必須精確地定向到光致抗蝕劑層上。EXCALIBUR是為此目的而設計的系統，提供高質量電路模式所需的精確曝光。它能夠將圖像投影到分辨率高達2,048微米的光敏層上。這使得實現極微小特征的生產成為可能，直到亞微米範圍。它有一個先進的直接成像曝光途徑，包括一個三聯體顯微鏡物鏡和鏡子。這提供了光刻膠層的連續、均勻的曝光，允許將光刻技術整合到亞微米設計中。FSI EXCALIBUR提供了廣泛的特性和功能，包括自動對準單元，確保晶片在曝光機上的最佳放置。它還提供了集成跟蹤、預對齊、後對齊和叠加映射。這樣就可以預先匹配模式的每一層,並且特別適合大容量、大規模的過程。此外，EXCALIBUR機附有光刻膠加工站，用於在光刻膠曝光後仔細處理。它提供了一種自動化的可調光刻處理算法，旨在減少處理時間和成本，同時最大限度地提高電路產量。該站還集成了熱和真空控制系統，以及動態掩模檢測工具，確保每一層一直暴露在外。FSI EXCALIBUR是精密電路設計和多層生產的理想選擇，允許對電路特性進行微調和控制，以達到最高質量的效果。它是制造操作員的絕佳選擇，因為它有助於高效和可靠的光刻工藝，有助於減少時間和成本，並最大限度地提高產量。