二手 FSI MERCURY MP #9189482 待售

FSI MERCURY MP是一款光刻設備，提供無與倫比的高清光刻能力，用於在半導體、MEMS和其他精密元件上創建微尺度和納米尺度圖案。MERCURY MP旨在為用戶提供高分辨率和準確的結果，同時提供市場上最高的吞吐量和穩定性，最終帶來優越的產量和成本節約。FSI MERCURY MP利用獨特的光學成像系統,包括一種特殊的無掩碼掃描技術,該技術可以將圖像從數字單層掩碼投射到晶片上,而無需制作光掩碼。這種無掩碼掃描裝置由於精確的對準精度和可重復性，保持了可達到的最高分辨率。此外，MERCURY MP采用先進的現場計量能力來精確測量模式和控制叠加精度。該機還配備了先進的液體冷卻工具，在運行過程中進行最佳的熱管理，從而確保了市場上最高的圖像穩定性和均勻性。FSI MERCURY MP還使用專有的機器人方法進行塗層和剝離操作,使光刻膠處理工作流程從自旋塗層自動化到成像和剝離,並采用最少的幹預措施。機器人解決方案有助於提高資產的吞吐量和過程一致性,並減少光刻膠消耗。雖然MERCURY MP是為工業生產而設計的，但其精密的設計也允許它用於研發目的。它能夠在一系列高級標線之間切換,這有助於滿足復雜的流程要求,並且可以擴展和重新配置模型以集成其他工具和標線。綜上所述，FSI MERCURY MP是一個強大而高效的設備，提供無與倫比的光刻能力，用於嚴格的微量和納米級模式。該系統具有卓越的精確度和精確度,提供了最高的吞吐量和圖像均勻性,以及高級機器人功能,旨在優化效率和減少光刻膠消耗。