二手 FSI PFA Turntable for Mercury #9206333 待售

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ID: 9206333
晶圓大小: 6"
6" (4) Cassettes (100) Wafers per load.
FSI PFA Mercury Turntable是一種設計用於精密光刻和微加工應用的光刻設備。它使用轉盤進行工件定位和旋轉,以精確和重復地將感光材料放置在系統內。轉盤具有亞微米精度和可重復性,適用於各種微加工應用。該裝置配備了高分辨率的4百萬像素攝像頭,能夠以每秒25幀的速度拍攝圖像。相機安裝在真空密封的機箱內,並配有可選的集成自動虹膜機,可實現更高的精度和精確度。根據應用程序的要求,相機可用於捕獲2D和3D圖像。轉盤能夠支撐各種感光膠片,包括FSI Duraposit™系列光刻膠和表面安裝蓋。這允許廣泛的工藝和應用,包括光刻、直接成像和平版印刷。轉盤還能夠支撐寬達6英寸的基板,允許更大的樣品面積。PFA Mercury轉盤的設計考慮到了易於操作。集成的圖形用戶界面提供了所有工具參數和設置的清晰、易於閱讀的顯示。它還包括詳細的自動化配方,以盡量減少時間和減少設置和調整錯誤。可以對資產進行編程,以在最少的幹預下處理多個流程和應用程序。FSI PFA Mercury轉盤是一種精確、可靠的精密光刻和微加工應用模型。憑借其緊湊的設計、高分辨率的攝像頭以及集成和自動化的配方,這款設備為創建復雜而精確的組件提供了完美的平臺。轉盤的亞微米精度和可重復性,加上其廣泛的感光膜,使得它非常適合廣泛的應用。
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