二手 FSI SATURN OC #293592650 待售

FSI SATURN OC是一款開創性的193納米（nm）暴露工具，用於幹性抗蝕劑的開發、化學放大光致抗蝕劑和抗蝕性邊緣輪廓優化。SATURN OC使原始設備制造商（OEM）能夠為芯片設計師提供將光刻工具性能提高到超出理論衍射極限的能力,同時提供無與倫比的可重復性。FSI SATURN OC具有集成的6英寸曝光場，提供6.5英寸、5.5英寸、4.5英寸的曝光場大小，以及定制的可配置線路/空間模式。曝光場提供亞埃線寬和可重復的邊緣到邊緣均勻性染料和化學擴增抵抗。SATURN OC具有光學系統性能優勢。能量控制和暴露的均勻性使亞埃線寬可用於密集的圖樣。創新的光學優化工具使CHA抗蝕劑的邊緣對比度得到快速優化，並改善了染料的對比度、間距和窗口圖樣。FSI SATURN OC有一個用於精確劑量和聚焦監測的原位監視器，其主動光學監視器保證攻擊性工藝條件，使攻擊性RECOnode級叠加精度。光刻工藝匹配與現有的193nm制造面料一致，光學性能極易重復。SATURN OC的腔室設計也將光阻駐波效應和非均勻性降至最低。FSI SATURN OC是一種強大的芯片設計和工藝新工具，具有積極的設備縮放和突破衍射光刻的極限。SATURN OC系統的先進功能保證了超穩定的大衣程序和納米級的可重復性，同時提供了增強的光學性能。FSI SATURN OC憑借其出色的光學系統可靠性和集成測試與優化能力,成為OEM和半導體制造商的理想選擇。