二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON 2134N #9109608 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON 2134N是一種用於制造微電子元件的光刻設備。該系統是一個先進的單元，具有集成的過程控制，高分辨率和精密成像，以及自動化基板處理解決方案。FSI 2134N利用先進的成像技術提供高分辨率和精確成像。這使得設備的光刻膠層能夠準確快速地曝光。此外,該機器還包括高級功能,如使用直接激光寫入的激光工具、用於精確統一控制的曝光控制資產,以及支持快速響應的高速累積模型。TEL 2134N還具有集成過程控制功能。這包括一個創新的原位激光幹涉儀，可以精確測量臨界尺寸。此外，該設備還包括一個自動化的基板處理系統，方便基板的裝卸，以及一個全自動的設置和操作過程。2134N提供了高精度和精確控制生產的光刻裝置制造過程中。該機具有控制曝光和蝕刻過程的一系列選項，包括劑量、曝光時間、蝕刻速率、聚焦深度、基板溫度和蝕刻壓力等各種參數。此外,集成的過程控制還可以提高過程的可重復性和產量。此外,TOKYO ELECTRON 2134N可以配置一系列自動化選項。這包括各種自動化基板處理解決方案、自動化校準單元以及全自動設置和操作過程。總體而言,FSI/TEL/TOKYO ELECTRON 2134N提供了先進的成像技術、集成的過程控制、自動基板處理解決方案,以及在光刻工具制造過程中對生產的精確控制。這使用戶能夠獲得高度準確和可重復的生產結果。