二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON 8221 #9119346 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON 8221是一種開發用於半導體晶片生產的光刻膠設備。它是一個全自動系統，在使用薄膜沈積技術制造設備的過程中提供基板預熱和抗蝕層的處理。FSI 8221單元可加工直徑達8英寸的基板，工藝窗口為120°C至200 °C。它有一個獨特的加熱機器，能夠統一的溫度控制，並確保過程的一致性和可重復性。它配備了兩個輻射源----一個最高2 J/cm ²的氙氣閃光燈和一個最高400 mJ/cm ²劑量的氙氣激光器。該工具配有波長可選擇的石英光學組件和可變反射鏡以調整光束輪廓。TEL 8221光刻膠資產可用於單層、多層和雙層處理。它有一個精確的方法來控制工藝參數，並確保出色的分散和分辨率的抗蝕層。可選擇多組分抗蝕劑配方，從半耐用系統到高耐用系統，以及成功加工所需的所有一次性用品。此外，該模型還采用了先進的計量和檢查工具，如視場顯微鏡、粒子密度測量和電阻率測量。這些技術可用於評估抗蝕層在其預期壽命內的性能,以確保過程和產品的一致性。為了保證其基板的最高產量，8221光敏設備的用戶受益於最先進的工藝控制和監測功能。全彩色交互式用戶界面為參數設置、設備調整和組件評估提供了簡單直觀的工作流程。總之，TOKYO ELECTRON 8221是一種高性能的光刻膠系統，旨在保證半導體晶片生產的最高產率。它提供了一個集成的加熱單元，精確的過程控制和先進的計量和檢驗工具，以確保產品質量的最佳。