二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON 915597-005 #293700892 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON 915597-005設備是為先進的光刻圖樣制作工藝而設計的光刻加工系統。該單元的組件包括自旋處理器、成像室和光刻膠輸送機。自旋處理器負責用光刻材料均勻地塗覆基板。自旋處理器采用直接驅動技術,可以精確控制處理器的速度。自旋處理器還分配了基材所需的光敏材料量，可以針對不同的工藝應用進行調整。成像室負責為基板暴露於光提供受控環境。該腔室配有運動控制工具，可微調舞臺運動以實現圖像分辨率。腔室還有一個內置的閃光源來照亮基板。光刻膠輸送資產負責向自旋處理器提供一致的光刻膠材料供應。該模型具有濾光片設備，用於凈化光敏材料和防止汙染。FSI 915597-005系統設計為提供高度精確的光敏沈積過程。利用其直接驅動技術和運動控制單元，可以提供低工藝變化的基板覆蓋。這臺機器還能夠減少由非均勻層厚度引起的線形變化。此外,閃光源還可以提供均勻的基板照明,從而獲得更高的分辨率.總體而言，TEL 91597-005工具是一種先進的光刻膠加工資產，提供高度精確的光刻膠沈積工藝。該設備的自旋處理器、成像室和光刻膠輸送模型協同工作，提供準確一致的基板覆蓋。該系統能夠減少線條尺寸的變化，並且能夠提供均勻的基板曝光以獲得更高的分辨率。