二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON 915597-005 #9360974 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON 915597-005是一種光刻設備，設計用於集成電路（IC）制造中晶圓加工的精密蝕刻。該系統基於一個由間隔的、獨立的燈室陣列組成的光束驅動單元。該機采用智能自動關卡（IAL）、自動曝光輸出（AEO）、高分辨率機（HRS）等先進專利技術。IAL工具對光刻膠層的光密度進行測量，然後能夠將IC器件布局圖樣的反應與最合適的曝光條件相匹配。IAL提供了可靠的步驟和重復光刻以及對任何環境條件的調整,以確保超高分辨率模式期間的穩定性,即使存在一些光照水平差異。AEO資產在向光刻膠傳輸復雜圖樣時確保可靠的性能。它在照明過程中提供精確的控制和光照持續時間,並將其轉移到IC設計中。為了保證精度，本機還考慮了光照強度的多少、曝光範圍的寬度以及光沿處理區域的均勻性等因素。HRS功能提高了光阻處理精度,從而可以創建超高分辨率布局模式。它的設計結合了數字控制和信號處理，以糾正高速曝光可能發生的任何不規則性，以保持最高精度。這樣可以確保在蝕刻過程中可以準確地復制投影和圖案,從而防止任何質量損失。FSI 915597-005光刻膠模型的設計目的是提供高性能的結果,其精度達到最佳行業標準。它結合了智能自動電平、自動曝光輸出和高分辨率設備,是在集成電路制造中創建逼真的設計和蝕刻模式的理想解決方案。