二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON 915597-005 #9360975 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON 915597-005光刻設備是一種光刻系統，旨在能夠在半導體晶片和其他基板上產生非常復雜的微結構。該單元的設計可提供快速、精確和可重復的圖樣成像,包括各種掩模尺寸。它提供高達每秒五幀的曝光速度、所有可用光刻機中最高的分辨率以及精確的曝光控制。該工具包括一個4英寸步進光掩模,其設計目的是在尺寸不超過6英寸的基板上提供精確且可重復的成像模式。它具有高度敏感的薄膜,能夠從掩模中精確捕獲圖樣,從而提高曝光效果和高度可重復的圖樣。該資產還具有集成的薄膜進紙器和處理模型,允許在曝光之間輕松設置和清理。設備還包括一整套成像工具，以定制系統性能。這些工具包括自動快門控制、自動對準和焦點控制，以及可編程晶圓處理軟件。此外,該單元還包括曝光控制軟件,用戶可以輕松調整和定制曝光參數,並在成像過程中監控結果。最後,該機器包括成像光學器件陣列,可提供各種尺寸和配置的基板的增強成像。這包括可變焦距鏡頭，取決於基板的大小和圖樣的分辨率。成像光學也可以定制，為更復雜的圖樣提供特殊效果，如可變深度成像、半色調成像和更高對比度成像。總體而言，FSI 915597-005光致抗蝕劑工具是半導體晶片和其他基材的高分辨率、可重復、通用成像和處理的絕佳選擇。其高精度的曝光控制、成像工具和最先進的光學器件,在生產復雜的微觀結構時允許靈活性和定制。