二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON 915597-005 #9408657 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON 915597-005是一款專為光掩模圖樣應用而設計的光刻設備。它由Stepper/Aligner 915597型和Exposure Unit 915596型組成。Stepper/Aligner是一個高精度、高速的陣列系統,用於在高達12.7 x 12.7英寸（320 mm x 320mm）的大型光掩模上進行細線、高密度的3維成像。它具有較大的字段大小,X/Y坐標各高達+-9.8英寸,最大速度為4000 x 4000um/sec。該單元的曝光單元最多可提供3個EV,並可以通過線性、分割和跳躍多層圖樣精確曝光光掩模。它提供了6英寸DUV燈的串聯標線處理的高級性能,增強了校準和測量功能,並提供了精確的模式傳輸精度的高級模式驗證。這臺機器配備了全自動濕法和幹法工藝，結合了高速掃描和先進的軟件功能，以提高吞吐量、靈活性和易用性。該工具特別適合於生產環境，以緊密的均勻性和精確的叠加精度提供過程控制。它還能夠同時曝光8英寸的光掩模。步進/對齊器和曝光單元的組合為具有緊密線寬和最小臨界尺寸的成像提供了改進的輸出。該資產還配備了安裝在步進/對齊器上的線圈透鏡，可提供高數值孔徑（NA）成像和低失真。總體而言,FSI 915597-005光刻膠模型旨在為光掩模陣列制作過程提供業界領先的準確性、分辨率、吞吐量和可重復性。它在整個生產過程中提供可重復、經濟高效的映像。該設備旨在滿足包括半導體、微電子、掩模生產和研發實驗室在內的眾多客戶的需求。