二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON 918331-002 #293665158 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON 918331-002是一款設計用於高精度大氣處理的光刻設備。該系統基於等離子體的技術有助於實現最佳清潔水平，同時避免汙染。這種光致抗蝕劑裝置能夠進行先進的RIE（反應性離子蝕刻），能夠有效地去除光致抗蝕劑和其他相關材料。其簡單的操作機器非常方便用戶，便於監測操作參數。其高端設計實現了均勻蝕刻,並精確控制了材料的物理特性,如寬度和厚度均勻性以及長寬比控制。它還提供了可變壓力範圍和改進的真空環境。在室內，壓力降低到兩個大氣水平。它的高頻射頻發生器允許電能傳輸到腔室。這項技術與惰性氣體（如氙氣或氮氣）兼容，用於等離子體合成。先進的波管理控制為穩定的等離子體提供了必要的動力。光刻工具最多可用兩個晶片操作,並具有一致的均勻蝕刻.蝕刻工藝精密、均勻。可從低功率操作到高壓循環，達到不同的蝕刻效果。它對電壓的高度控制確保了蝕刻以最小的方差完成。該資產的設計效率很高,並提供全面的監控功能來幫助操作員。其可變壓力範圍允許更大的靈活性，在需要時降低壓力，在不同蝕刻要求需要時增加壓力。該型號還配備了運動控制機構，幫助優化維護並提供更好的性能。FSI 918331-002光刻設備的獨特設計是一系列先進蝕刻工藝的理想選擇。其出色的性能、效率和用戶友好的系統使其成為滿足各種蝕刻需求的理想解決方案。