二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Antares CX #293652980 待售
網址複製成功！
單擊可縮放
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON ANTARES CX是一款設計用於半導體制造工藝的光刻設備。該系統利用離子植入、化學蝕刻和自旋塗層的原理，確保各種材料上的最高質量的光刻膠層。該單元包括一個精確的離子植入器，將離子植入光刻膠層中，以創建預定的圖樣。創建的圖樣稱為轉移蝕刻圖樣,然後使用光刻膠本身創建所需的遮罩層。然後將這一保護層蝕刻到許多材料基板上以創建結構。機器中包括旋轉塗層應用，以確保光刻膠均勻分布在基板上。此過程在高質量、溫度控制的環境中進行,以確保最高的精度。FSI Antares CX提供了廣泛的工具改編,以滿足任何客戶規範。該資產具有可選的附加設備以及用於擴展其功能的支持組件。這包括額外的精密鐵箔、高密度離子束系統和電子束系統，這些系統旨在為各種應用提供最高水平的精度和控制。為了提高吞吐量,該模型包括自動化功能,旨在減少完成光刻膠處理所需的時間,並提高其整體精度。設備還包括多種操作模式，可以針對不同的工作和任務進行調整。TEL Antares CX是任何半導體制造工藝的理想光刻系統,可提供一致和可靠的結果,同時提高吞吐量和提高質量。單位設計也可針對個別使用者需求進行自訂。
還沒有評論