二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Antares CX #9169544 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON ANTARES CX是專門為微電子器件的蝕刻和圖樣設計的光刻設備。該系統將光掩蔽技術與亞波長分辨率光刻技術相結合，創造出緊湊復雜的器件結構。該裝置的核心采用激光和光致抗蝕劑，它們是對光敏感的材料。當暴露於激光的正確波長時，光刻膠會反應並蝕刻微小的圖樣到基板上。光致抗蝕劑由步進級進一步支撐，步進級是一種精密的機械組件，它允許基板在X-Y-Z方向上移動，以使光致抗蝕劑完全對齊以進行圖樣化。FSI Antares CX允許極高的精度。它具有繪制亞波長形狀和圖樣的能力，小至25 nm，是創建先進微電子結構的理想之選。機器中使用的激光器還能夠進行地形測量，因此很容易進行非常詳細的蝕刻。另外，該工具能夠進行雙曝光光刻，在兩個電路元件之間創建導電橋的存在。TEL Antares CX還配備了一個名為「Sortimos」的軟件組件，可以處理光束掃描、光刻膠處理和圖樣制作的整個過程。該軟件能夠自動控制激光掃描速率、激光功率和曝光時間，以獲得最準確、一致的結果。該軟件還能夠幫助用戶確定各種光刻膠類型的適當曝光時間,從而大大簡化工作流程。總而言之，Antares CX是為微米級器件結構蝕刻設計的高度先進的光刻資產。它利用激光器、光致抗蝕劑和精確的機械位移來精確繪制小至25nm的復雜結構。「Sortimos」軟件有助於確保整個過程的準確性和一致性，使得TOKYO ELECTRON Antares CX成為微飽和化和設備結構創建的最佳選擇。