二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Antares CX #9234274 待售
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單擊可縮放
ID: 9234274
晶圓大小: 12"
優質的: 2005
Cryokinetic cleaning system, 12"
Main body
System resource module
(2) Process modules
(3) Load ports
PC Unit
A-Box
FFU Cover
2005 vintage.
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON ANTARES CX是一款先進的光刻設備，旨在提供光刻工藝的卓越性能。它是微電子工業的寶貴工具，能夠實現電子元件的高端微制造。FSI Antares CX系統由幾個組件組成，這些組件協同工作以曝光高清晰度光刻光刻材料。該裝置的核心是發光二極管（LED）模式發生器，它負責生成制造的高精度模式。LED模式生成器由用戶定義的數據驅動,從而可以創建許多不同的模式。LED圖樣發生器連接到投影光學組件,該組件負責將成像光投射到光刻材料表面上。這種光學組件設計用於將光均勻地分散在整個表面，並且可以調整以分散不同的波長。為了獲得最佳收率,光敏材料應與工程圖像精確對齊.為了實現這一點，TEL Antares CX機將自動對齊能力整合到其設計中。這使得工具能夠自動將光刻膠材料與投影圖像對齊，每次都提供一致的結果。最後，TOKYO ELECTRON ANTARES CX資產被設計為最大的速度和效率，使投影光學器件能快速掃描整個光刻材料，以更快的模式制造。這是通過高容量的潔凈室模型實現的，它減少了空氣中顆粒的數量，從而提高了光刻結果的質量。總之，AntaresCX是一個完整的光刻設備，旨在實現卓越的電子元件制造。它提供了對成像光的動態控制、自動對準能力和高容量的潔凈室系統，以實現最高的效率。
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