二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Antares #9302856 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON ANTARES是專門為集成電路和其他微電產品的生產級加工而設計的光刻設備。光刻系統的設計是為了在光刻過程中提供更高的精度和高重復性。光敏材料是一種對電子束發射的能量有反應的光敏材料。當暴露在光線下時，它會發生化學反應，改變其物理性質，產生電阻層，使設計的某些部分受到影響。FSI Antares設備利用先進的高分辨率光刻技術,確保無縫圖像傳輸和設備層的高產圖樣。TEL Antares機器采用自動端到端控制工具,可確保精確的過程控制。該資產具有動態模式化操作功能,允許高速生成高質量的抵抗模式,並具有陡峭的側壁,這對於實現高收益至關重要。模型的另一個特點是能夠精確控制暴露模式的線寬到1/4微米的分辨率。此功能還允許精確的懸垂控制,以實現最佳的側壁平面度和閘門輪廓。此外，TOKYO ELECTRON ANTARES設備具有廣泛的工藝支持，包括溫度監測和電阻測量，允許對所有沈積和蝕刻工藝進行高級控制。該系統還提供靈活的加載模板和晶圓映射功能,以實現精確的邊到邊沈積,從而允許在整個晶圓上進行精確的特征復制。Antares光敏裝置已被許多尋求為其產品生產高質量、一致的器件的主要半導體公司采用。先進的控制機器和對細節的關註允許更高效的制造過程，允許更高的產量和穩定的，可重復的設備特性。