二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Antares #9399583 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON ANTARES設備是一種高精度的光刻光刻系統,旨在實現先進的半導體器件制造。這一單元利用先進的技術，使前沿設備生產在半導體制造。FSI Antares機器配備了擴展聚焦深度（EDoF）功能，允許在600mm x 600mm面板內生產復雜的圖案。憑借其高精度的光學工作距離，TEL Antares工具能夠實現0.5 μ m的工藝分辨率，這是生產先進異結晶體管和集成電路所必需的。TOKYO ELECTRON ANTARES資產的核心是其先進的光阻技術。該模型采用獨特的光學和化學方法相結合，以確保對光刻塗層工藝的精確控制。支持多種光致抗蝕劑化學，包括KF（矽氧烷基）和PMMA（聚甲基丙烯酸甲酯）。此外，Antares設備能夠快速、準確地將光敏塗層的厚度調整到精確的規格。FSI/TEL/TOKYO ELECTRON ANTARES系統除了提供精確的光刻技術外,還為用戶提供了一系列先進的功能,以確保完整和精確的光刻工藝。這包括先進的曝光時間控制、照明功率水平和衍射受限聚焦控制。此外，FSI Antares單元與一系列不同的材料兼容，包括石英、鋁、矽、聚酰亞胺等。精確的光刻技術、先進的控制特性和廣泛的材料相結合，使得TEL Antares機成為半導體器件生產的理想平臺。此工具可用於產生各種復雜的陣列,並且非常適合於產生小幾何形狀,例如5 nm晶體管。此外,TOKYO ELECTRON Antares資產使用戶能夠對其光刻工藝進行微調,從而能夠高精度地制造尖端設備組件。總之，Antares模型是一種高精度光刻光刻設備，為生產尖端半導體器件提供了一系列先進的特點。FSI/TEL/TOKYO ELECTRON ANTARES系統具有精確的光致抗蝕劑控制和廣泛的相容材料,非常適合產生具有小幾何形狀和復雜結構的復雜圖樣。