二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Antares #9399693 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON ANTARES光刻設備是用於制造半導體器件的光刻工藝的創新解決方案。該系統采用一種專利雙層「象皮」方法在半導體晶片上制圖光刻膠層。上部抗蝕層充當遮罩,以防止光致抗蝕劑在表面上繪制所需的特征,而下部抗蝕層則提供進一步的處理,以創建所需的圖樣和特征。FSI Antares光致抗蝕劑單元使用了兩個激光源的商標E-beam技術，在不燃燒光致抗蝕劑層的情況下實現了所需的圖案。這兩個激光源--一個平行的和一個垂直的--在光致抗蝕劑層上產生一個孔和峰的圖樣，以便形成所需的圖樣。TEL Antares獨特的E-beam機比其他光致抗蝕劑系統允許更高的圖樣分辨率，因為孔可以精確地放置在山峰上方，圖樣中沒有出血或不均勻。除了E-beam技術外，Antares工具還利用高真空環境，防止任何光刻膠層氧化。這有助於防止由於強烈的光線暴露而造成的腐蝕，同時也保留了光刻膠的晶體結構。TOKYO ELECTRON ANTARES資產也抗光敏汙染，是光刻中常見的問題。為了確保圖樣的質量，模型采用了自動監測設備，以識別任何可能汙染光刻膠層的粒子。最後，FSI/TEL/TOKYO ELECTRON ANTARES光刻膠系統具有很高的成本效益，因為它減少了設備和成本支出以及與制造和測試相關的繁瑣的手工工藝。這使得該設備特別吸引那些希望在降低成本的同時提高產品質量的半導體公司。總體而言,FSI Antares光刻機是一種先進的解決方案,它為半導體行業提供了顯著的優勢。優越的陣列精度、高真空環境、抗汙染特性和成本效益為制造半導體器件提供了可靠、高質量的解決方案。