二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Atlas #57163 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Atlas是一種下一代的光致抗蝕劑設備，設計用於在半導體晶片上創建納米級圖樣。它為流程控制提供了一套全面的功能，同時具備成像後和預處理活動的能力。該系統配備了一個高端的照片成像工具，將光暴露在光刻層上，從而在半導體晶片上形成圖樣。它在360 nm至800 nm的波長下起作用，可以調整以匹配不同抗蝕劑和光刻過程的特性。照片圖像工具能夠達到0.2 μ米以下的分辨率。該單元還包含一個具有主動穩定功能的晶片級，這是實現所需納米精度的關鍵特征。晶片級支持一系列晶片尺寸和厚度，並且能夠像激光掩模書寫這樣的快速叠代過程。FSI Atlas配備了高速機器人，能夠以高吞吐量執行流程步驟。它包括微處理頭，可用於精確修改晶片上的圖樣。它還具有保證抗蝕層清潔穩定發展的高端抗蝕劑管理能力。這還允許遠程監視流程參數,幫助確保快速解決流程問題。該機還具有高效的化學管理技術，可用於精確控制光刻膠的塗層和開發。這種化學管理工具有助於減少產生缺陷芯片的數量。此外,資產還與制造執行模型集成在一起,該模型可用於長期監控整個抵抗過程。總體而言，TEL Atlas是為半導體晶片的高精度納米級制造而設計的先進光阻設備。它為預處理和後成像過程提供了強大的功能,允許用戶安全可靠地創建和修改模式。