二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Carts for Saturn MP #9233650 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Carts for Saturn MP是由FSI International、TEL和Lam Research開發的高性能光刻設備。它是一個自動化的過程解決方案,旨在提供出色的膠卷存放效果、較小的占地面積和最大的靈活性。該系統利用調節的硝酸蒸氣輸送裝置將光敏材料噴灑到晶片上。然後將晶片曝光並加工成紫外線光源。該機采用「雙」腔室布局設計，這意味著該工具采用兩個真空腔室。前室容納大量真空壓力，用於將光敏材料保持在最佳狀態後再分散在晶片上。該腔室還用於曝光前晶片的預處理。後室用於暴露於紫外線光源。這個腔室還配備了多個墨盒，因此可以同時處理多個晶片。土星MP資產能夠提供出色的厚度均勻性、靈活性和快速響應時間。它還配備了多種過程控制，用於即時調整。加熱室的溫度可達650°C，模型可安裝等離子體蝕刻室，以增加工藝靈活性。集成工具旨在減少總體處理時間-高達70%。超低阻尼特性可以在最小振動和最小幹擾的情況下進行動態過程調整。其監控/報警設備提供系統健康和性能的實時報告。土星MP單元還具有先進的可選功能，如集成的多晶片裝載機或機械臂，或車載氣體輸送和回收機。此外,集成配方工具允許靈活存儲最多15種不同的工藝配方,只需按一下按鈕即可訪問這些配方。總之,FSI Carts for Saturn MP資產是一種智能設計的自動化過程解決方案,可提供出色的膠片存放效果、較小的占地面積和最大的靈活性。它是任何光刻膠設計者的強大工具。