二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON / DESPATCH CT200 #9355258 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON/DESPATCH CT200 Photoresist Equipment是一種光化學處理系統,主要用於矽片制造過程中的精密工藝控制。它設計用於將光刻膠處理步驟集成到單個單元中，以實現卓越的性能。機器使用光刻技術將感光化學物質沈積到基板上，然後將其暴露在光源下，在塗層中形成圖樣。然後可以根據最終設備的需要開發、蝕刻或清洗此模式。FSI CT200具有獨特的雙室工具,可最大程度地精確控制工藝參數。該工藝室用於進行光致抗蝕劑工藝，而轉移室則用於在不受汙染的腔室之間移動基板。該資產能夠將光刻膠薄膜沈積和暴露在從紫外線到紅外線的波長範圍內。該模型配有一個傳感器，用於監測工藝溫度和壓力，從而實現準確和可重復的結果。設備還配備了數據記錄器，以提供過程數據的永久記錄。光刻膠系統可用於高精度沈積和曝光感光膜，非常適合用於半導體器件制造、光刻、光刻、抗氧化和先進包裝等各種半導體工藝。該設備還配備了一臺計算機控制機器，可以為特定流程生成配方，從而提高質量保證和更高的吞吐量。軟件包能夠管理流程參數、實時監控流程溫度、設置報警和記錄數據。對於希望高效生產高精度器件的半導體制造商來說，TEL CT200光刻工具是一個極好的選擇。資產的高精度、可重復性和自動化控制功能使其適合用於各種流程應用程序。