二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON / DESPATCH CT200 #9355259 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON/DESPATCH CT200是一種高性能、精密工程的光刻設備。該系統旨在滿足各種半導體市場先進的光刻要求，為制造甚至最精密的半導體元件提供超精密化學加工平臺。FSI CT200利用多種專有技術生成真空風扇或自旋光刻膠圖樣。這一單元結合了非接觸式直寫方法和微編造技術，讓用戶即使在納米級上也能創造出錯綜復雜、極其細致的特征。這臺機器配備了一個高度復雜的機器人控制工具，它指導所有流程組件，以及各種可以針對不同應用程序定制的軟件設置。TEL CT200使用高分辨率圖像掃描儀和高速模式移動資產,以最大10um分辨率在抗蝕劑上實現超精確的模式寫入。用戶可編程的焦點和曝光設置可以適應每個應用程序的特定要求。該模型還能夠打印連續或分段的圖樣。CT200采用真空構架預處理基板並管理放置和對準過程。它可以一次處理多達4英寸的基板，光學深度為1.5。該設備允許20毫秒的標準曝光時間,每小時最多可打印2,000張圖像。DESPATCH CT200旨在滿足各種半導體生產工藝的嚴格要求。優越的性能和精確的控制使得該系統成為復雜光刻應用的絕佳選擇。