二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Excalibur ISR #293760314 待售

FSI EXCALIBUR ISR是一個世界級的光刻系統，旨在滿足最先進的光刻工藝和應用的需求。這個先進的系統擴大了光刻加工的應用範圍，將光刻帶入數字成像和光子學的世界。EXCALIBUR ISR是針對中型和大批量生產環境而設計的。它采用高性能掃描儀構建,具有48位色深、7秒周期時間和500個項目/分鐘的處理率。一個集成的微分配系統允許貼花操作具有納米升精度和可重復性。集成的Roll-to-Roll（R2R）網絡傳輸還允許無縫處理大卷光刻膠。為了實現一致和創造性的模式,FSI EXCALIBUR ISR配備了許多軟件驅動功能。其中包括作業編輯器、模式庫、可變點大小（VDS）功能和模式轉換（PT）工具。工作編輯器可以輕松調整光刻過程中的值和設置。Pattern庫為常用的光刻膠工藝提供現成的作業。VDS工具允許工程師在過程中對陣列大小和形狀進行快速而精確的更改。最後,PT工具允許模式自動調整到目標區域大小。EXCALIBUR ISR允許最先進的光刻工藝快速準確地完成。憑借其先進的功能、強大的處理器和敏捷的Web傳輸,它為復雜、高速和高精度的光刻過程提供了理想的平臺。總體而言,FSI EXCALIBUR ISR是光刻工具箱中必不可少的工具,可讓高級光刻機應用程序以優異的性能和準確性完成。