二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON EXCALIBUR #9137323 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON EXCALIBUR是一款光刻設備，設計用於創建分辨率高達100 nm的高精度圖像。它能夠產生數字和模擬格式的快速、高分辨率圖像。該系統由四個主要組成部分組成：一個曝光單元、一個電動級、一個腔室和一個光刻單元。曝光機包括用於將衍射光對準基板的照明源、用於制造均勻照明的抖動電機、用於控制光強度的百葉窗以及用於聚焦光束的光學透鏡。機動化級負責在腔室周圍移動基板，以定位暴露區域。腔室用來制造真空，在加工基板時允許高精度。光刻膠單元提供了應用圖像不同層所用光刻膠的正確化學成分。該工具的工作原理是將基板放置在電動舞臺上，並將基板在照明源下移動到芯片上需要暴露的不同點。通過控制曝光源，照亮圖像區域，激活光刻膠中的化學物質。然後將基板移動到下一點,並重復相同的過程。光致抗蝕劑中的化學物質對來自曝光源的光產生反應，在基板上形成一層，之後成為圖像。一旦過程完成，基材就被移到腔室進行開發，其中包括用必要的化學品紡絲和沖洗基材的機器。這有助於洗去多余的光致抗蝕劑，留下一個幹凈和高分辨率的圖像。FSI EXCALIBUR資產適用於先進的光刻工藝,用於創建數字和模擬格式的高精度和高質量圖像。它利用先進的機動化舞臺功能最大限度地提高圖像的準確性,並確保輸出具有盡可能高的質量。它還能夠快速加工基板，允許在短時間內大量生產。該模型旨在為用戶提供可靠、高性能的光刻膠解決方案。