二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON HELIOS 52 #293640333 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON HELIOS 52是半導體工業中用於光刻的光刻設備。用於開發和曝光光刻材料和絕緣膜。該機器提供任何現代設計要求所必需的準確可靠的成像和抗蝕劑。FSI HELIOS 52采用高性能多成像級,可確保穩定的光學性能,並為改進制造工藝提供廣泛的成像精度。該系統由兩臺電機組成，一臺步進電機和一臺檢流計鏡。精密步進電機控制精細的直列式位移，而檢流計控制快速的平面內運動。光學範圍由5倍物鏡組成，可在1英寸晶圓上實現高達1.15微米的高分辨率成像。專用的低失真鏡籠可以達到更高的精度水平。TEL HELIOS 52還具有一個溫度控制的濕度室，該室的設計目的是將抵抗溫度、濕度和暴露條件保持在恒定的水平，這對於光刻操作尤為重要。它還包括一個掃描儀位置檢測器，用於更精細的定位和對準成像平面。機器使用幹極2組分化學加工單元蝕刻光刻材料，然後沖洗光刻材料以去除加工殘留物。這臺機器專為需要高覆蓋精度和短吞吐量時間的過程而設計。它還配備了自動抗蝕劑處理卡帶、幹膜顯影劑卡帶和曝光卡帶，以減少停機時間和加載時間。HELIOS 52能夠通過持續控制薄膜均勻性，以高通量、高精度和高產量的方式可靠地曝光不同的圖樣。前沿光刻機專為半導體工業而設計，適用於前沿器件生產。它的特點使得它成為那些尋求有效、可靠和精確成像工具的人的絕佳選擇。