二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON K100 #9099908 待售

FSI / TEL / TOKYO ELECTRON K100
ID: 9099908
晶圓大小: 4"
優質的: 1983
Spin rinse dryer, 4" 1983 vintage.
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON K100是FSI,Ltd.開發的光刻設備,利用先進的曝光和成像技術,進行廣泛的精密光刻工藝。該系統設計用於IC制造應用,包括先進的3D互連、微機電系統(MEMS)、照片成像等高精度任務。FSI K100單元由三個主要組件組成:曝光機、曝光控制器和成像工具。曝光資產用於向基板上的特定區域輸送精確數量的超細曝光輻射。安裝在微米機械手上,曝光模型能夠對曝光參數進行非常精確的控制。此外,曝光設備還包括可調整的大視場(FOV),以適合基板形狀,從而實現極其精確的圖像配準。曝光控制器由一系列用於控制曝光過程的高級圖像處理算法組成。這些算法旨在優化曝光設置,以確保高質量的結果和最低的瓦特使用量。此外,曝光控制器設計為與成像系統協同工作,以幫助確保準確性和更快的吞吐量。成像單元設計用於檢測像素響應時間為納秒的超高分辨率圖像。這樣就可以以最小的圖像失真檢測到非常精細的特征。此外,成像機還包括一種幹凈的成像方法,用於避免圖像偽影出現重叠特征。TEL K 100的光刻工具旨在提供高度精確和可重現的光刻工藝。這包括對圖像進行對齊和成像儀處理,以高效、經濟的制造所需的速度生成高分辨率圖像。此外,K100資產能夠使用廣泛的基材,包括聚酰亞胺、矽和玻璃,使其用途非常廣泛,適合許多不同的應用。總體而言,TOKYO ELECTRON K100光刻劑模型是一種非常先進的光刻設備,其先進的部件允許精確準確地控制曝光參數,同時最大限度地減少能源消耗。該系統設計精良,可用於IC制造應用,其先進的成像設備可用於檢測超高分辨率圖像,且圖像失真最小。FSI/TEL/TOKYO ELECTRON K100光刻機具有優異的性能,適用於各種基材。
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