二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON K150 #293624501 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON K150 Photoresist Equipment是為半導體生產中的高精度光刻工藝而設計的自動化裝置。用於對各層薄薄的基板進行超細細節的物理圖樣，采用石英、矽、聚酰亞胺等多種材料。該系統采用4個光學級、一個精密掃描級和一個高功率激光單元，以精確精確地繪制一個精確的特征。第一光學級配備佳能20倍顯微鏡和5相機照相機，用於精確監測和測量。此階段還提供所有成像組件的對齊檢查。安裝在機械臂上的第二個光學級包含一個變焦鏡頭和一個圖案鏡子，以確保精確的成像。長焦距物鏡安裝在第三光學級，提供基板的放大視圖，並允許記錄甚至最小的細節。最後，第四光學級容納了一個大功率的紫外線光源，一個支撐基板的鑄造基板，以及多種定位器和執行器來精確地引導激光束。FSI K150 Photoresist Asset的控制工具負責自動化成像過程，包括內置多媒體子模型和高級傳感器，用於高級檢查和測量。該設備還能夠使用各種通信協議,以便與外部設備輕松集成。用戶友好的圖形界面允許用戶配置系統、設置參數和規範以及監控設備性能。TEL K150 Photoresist Machine還包括一個自我診斷程序,它可以檢測和報告任何故障,必要時可立即采取糾正措施。該工具能夠對大小在0.1到1微米之間的特征進行陣列設計,精度為+/-5 nm,分辨率為1-10 nm。其高級部件和機制確保了長期耐用和一致的操作。K150 Photoresist Asset的高質量成像工具、精確和受控的過程以及卓越的自動化,使其成為高級和苛刻的光刻工作的理想解決方案。