二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Lithius Pro V-i #9358787 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Lithius Pro V-i是為高精度圖樣應用而設計的光刻設備。該系統能夠將微觀結構壓印到具有亞微米分辨率的基板上。集成單元包括等離子體增強化學氣相沈積室（PECVD）、自旋塗層和用於優化產品應用過程步驟的曝光頭。PECVD腔室用於在矽片、藍寶石晶片、陶瓷基板等基板上沈積光刻級光刻塗層。自旋塗層用於優化抗蝕劑塗層在基板上的均勻分散，以確保塗層光滑均勻。曝光頭同時使用「步進重復」和「步進掃描」功能，將高分辨率（小於1微米）的光掩模圖案傳遞到塗層基板上。這臺高度敏感的機器能夠分辨出小於0.25微米的特性,同時確保寬廣區域的均勻性。除了旋轉塗層和曝光頭，該工具還包括一個自動化的軌道和模具資產，它允許在工藝線上快速轉換。模型中集成的軟件為用戶提供了對圖像數據和高級模式識別功能的訪問權限。此功能使設備能夠識別光掩模上的光刻膠圖樣,並將其精確傳輸到塗層基板上。FSI Lithius Pro V-i光刻膠系統易於設置和使用,具有業界領先的設計、安全和過程自動化功能。單位的所有組成部分質量最高，確保可靠和一致的結果。它的精確度、速度、可擴展性、靈活性和低成本使其成為最苛刻的光刻應用的理想機器。