二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury MP #192650 待售

FSI MERCURY MP是一款高性能的數字光刻設備,旨在在生產環境中提供可靠、可重復的性能。該系統具有經過驗證的高分辨率光學成像源和先進的精密微圖樣過程控制算法。它非常適合超細線在先進半導體器件制造中的應用。該單元的分辨率為千分之一微米或更高，可以處理精密襯裏間距為五微米或以上的多層，以獲得優越的圖像質量。它采用FSI專有的通用模式發生器（UPG）技術和專利工藝控制算法，具有先進的高分辨率光學成像源。集成機器執行聚焦離子束（FIB）對齊和陣列,使用戶能夠在多層上實現均勻的線寬和間距。該工具還具有優化、集成的工藝配方,可在所有類型的基板上提供最佳效果。它具有集成的高規格光學器件,能夠以高長寬比和小於成像波長的特性對設備進行陣列化。該資產還提供多種沖洗選項、防反射塗層以及一系列適合特定工藝要求的屏蔽材料。MERCURY MP旨在最大限度地提高產量並最小化循環時間。該模型的設計和維護達到最高質量標準，采用集成傳感器和數據記錄工具，以確保跟蹤所有事故和操作參數。它還包括各種車載工藝配方。該設備提供了用於流程監控的綜合軟件套件,該套件隨每一個新版本一起更新,以確保與最新技術的兼容性。這與先進的硬件監控、反饋系統和智能的分步過程優化算法相結合，最大限度地提高了質量控制和可重復性。總體而言,FSI MERCURY MP為高精度光刻膠應用提供了全面、精密的解決方案。它旨在在生產環境中提供可靠、可重復的性能,同時最大限度地提高產量並縮短上市時間。