二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury MP #293587873 待售
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已售出
ID: 293587873
Spray cleaning system
PFA Turntable, 8"
(2) Canister consoles:
Console 1: H2SO4, HCL, Dilute HF
Console 2: H2O2, NH4OH
Frame
Valves
Tube
Canisters
Spray post
Flow meters:
Gas / SCCM
H2SO4 / 200-2000 SCCM
HCL / 20-500 SCCM
Dilute HF / 100-2000 SCCM
H2O2 / 20-500 SCCM
NH4OH / 20-500 SCCM
DI Mix / 200-2500 SCCM
(2) Drains: N/O, N/C, drain valves
Dual exhaust
Control system with touchscreen, 15"
FSI Helios 52 DI Water heater with touchscreen, 5"
IR Heater
Operating system: Windows 10 IoT.
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON MERCURY MP是一種頂級的光阻設備,設計用於制造半導體器件的光掩模。FSI Mercury MP采用先進的激光光刻技術來進行精密的工藝操作和精確的曝光控制,從而能夠以極高的分辨率生產光掩模。TEL Mercury MP采用本地SEMI曝光和計量標準,確保可靠的性能和生產質量最高的光掩模。該系統設計的可靠性和易操作性,具有符合人體工程學的操作控制臺和圖形用戶界面,能夠快速設置和操作。TOKYO ELECTRON Mercury MP使用兩個或三個曝光激光器進行雙曝光能力和增強曝光控制。該單元具有具有覆蓋能力的HDTV對齊機,可確保每個光掩模步驟的精確對齊。該工具還提供了一種非接觸式計量能力,允許對成像參數進行校準和模式檢查。此外,MercuryMP還具有先進的光束診斷資產,可對激光光束性能進行高度詳細的測量。該模型通過糾正與激光照射相關的成像像差和其他變量,提高了產量。FSI/TEL/TOKYO ELECTRON MERCURY MP具有前所未有的焦點和景深,使得它在比傳統光刻系統大得多的區域上創造出精細的圖案。這使得能夠快速、可靠地生產出超大規模和復雜的光掩模。FSI Mercury MP是光刻膠系統的標兵。它結合了尖端激光光刻技術和精確控制,以最高效的方式提供了最高質量的光掩模。這使得TEL Mercury MP成為任何需要生產精確控制光掩碼的應用的理想選擇。
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