二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury MP #293595917 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Mercury MP是設計用於在半導體、微電子和其他基板上生產高精度圖樣的光刻設備。MP是一種單平臺、高通量、全自動的解決方案,能夠以無與倫比的可重復性和準確性生產細線和3D光刻膠圖案。該系統由真空負載鎖定室、可編程對準單元和可編程自旋塗層機構組成。這臺機器配備了用於高精度註冊的數字成像工具和用於曝光的基於LED的光源。真空負載鎖室確保了清潔的資產環境，並允許工具交換，而不需要大氣壓。可編程對齊模型使基板能夠自動放置和對齊工藝室。自旋塗層機構設計用於從基板的中心到邊緣應用厚度一致、膜均勻的光刻膠薄膜。數字成像設備具有高精度配準功能，可自動測量、對準和定位基板和抗蝕劑。它允許註冊精度小於0.5um。LED光源以不同的角度和曝光時間將背光和黑光分開，給曝光時間更大的靈活性，允許以更高的精度和準確度重復曝光。MP具有足夠的柔韌性，可以容納各種光刻材料，設計用於定位不同厚度的基板。該系統設計用於減少每個給定區域的灰塵、汙染物和顆粒，並可用於一系列光致抗蝕劑過程，如負性和加性過程。簡而言之,FSI Mercury MP是一款用途廣泛的光致抗蝕劑設備,可提供可靠的生產,具有高水平的可重復性、精確度和準確性。它是一個具有高吞吐量功能的單平臺解決方案,可提供最大的多功能性和靈活性。