二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury MP #9207075 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Mercury MP是一種設計用於制造半導體器件的光阻設備。該系統由一個主處理器單元、一個數字控制子系統和一個液體和氣體處理臂組成。主處理器單元有一個集成的軟件，為用戶控制其光刻過程提供了靈活性。它提供了廣泛的光致抗蝕劑工藝，如制圖、接觸抗蝕劑開發和蝕刻，允許生產高度精確和可靠的半導體器件。數字控制子系統具有VME總線和圖形用戶界面來管理設備。它配置有快速采集單元、驅動器和實時控制功能。控制工具的靈活性允許用戶實時調整參數和監控過程。液體和氣體處理臂負責將光刻膠溶液輸送到半導體器件表面。它配備了高性能的噴嘴資產，可以將光刻膠精確分布在裝置表面。噴嘴模型具有可變的壓力梯度噴嘴，可實現光刻膠的智能分布。此外,噴嘴還配有一個電弧套件,用於將噴嘴與設備表面對齊。FSI Mercury MP專為安全高效的操作和維護而設計。該系統配有開關保護裝置,可防止設備意外打開或關閉。此外,如果發現任何異常情況,系統會自動關閉。該裝置以低功耗運行，設計用於低粉塵運行。TEL Mercury MP設計用於制造產量極好的高精密半導體器件。它具有靈活的數字控制子系統和高效的液體和氣體處理臂，使機器能夠在廣泛的生產過程中使用。它的低功耗和低粉塵操作使其成為半導體行業的一個有吸引力的選擇。