二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury MP #9217485 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Mercury MP是專門為制造半導體器件而設計的自動化光刻設備。該系統采用最新技術對感光材料進行強烈紫外線固化，在基板的整個表面形成一層經過蝕刻的成品材料。該裝置非常適合制造高性能微電子、納米技術和光電子。FSI Mercury MP機利用專利的高分辨率圖像投影方法，通過所需的感光材料圖樣傳遞紫外線。這與微光刻相結合，在圖像投影的每個循環中創造出納米大小的特征。然後，投影圖像被轉移到基板上，並用高強度紫外線固化。這一過程允許將光刻和激光圖樣的精確組合用於微米尺度特征和納米尺度特征。提供比單獨的手工工藝或光刻更好的準確性和可重復性。該工具包括一個步進/掃描儀，用於精確測量紫外線照射，因為它通過面罩和到基板。步進/掃描儀與多區溫度控制陶瓷加熱器緊密結合。這樣可以在一次無縫操作中對不同的材料進行精確、可重復和精確的固化。因此，高分辨率圖像投影，結合溫度和濕度的精確控制，大大提高了生產周期時間，同時保持了很高的產品產量。TEL Mercury MP資產除了具有光致抗蝕劑處理能力外，還可用於超細光刻應用的高真空工具室。該腔室裝有高真空低溫恒溫器，能夠達到-25°C的溫度，用於光敏材料的快速固化。這樣可以在微電子和納米電子產品的生產中獲得盡可能高的分辨率。Mercury MP模型旨在適應大型基板的加工。它能夠同時處理多達三個基板，並且設備提供了一種在組件之間傳輸過程和基板信息的自動化手段。這樣可以提供更大的靈活性和更好的生產周期時間。總體而言，TOKYO ELECTRON Mercury MP光刻膠系統是生產先進微電子和光電子的絕佳工具。隨附的硬件和軟件提供了先進的技術、準確性和可重復性,從而實現了高效的制造過程。