二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury MP #9228777 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Mercury MP光致抗蝕劑設備是一種高度自動化和集成的系統,旨在在開發、光刻和計量過程中精確處理光致抗蝕劑層。光致抗蝕劑是一種光敏薄的聚合物薄膜，用於光刻，在基板表面形成微結構。該裝置的樣條驅動級采用線性電動機，采用專利的伺服驅動插值技術，在表面配準、光線照射和開發後清潔過程中保持精確準確的位置精度。該機配備了寬廣、平行的舞臺，允許大尺寸的光掩模，提供單次曝光的最高分辨率。其先進的曝光技術使掃描曝光模式如對角線和弧線能夠進行高精度蝕刻和模式傳遞精度。它通過半導體激光器實現的精確曝光調制，允許具有精確音高控制的抗蝕性像素的高度精確曝光。除了其暴露能力外，FSI Mercury MP還提供了全系列的計量工具，用於精確的基板分析和晶圓檢查。其計量工具使用激光幹涉顯微鏡、共聚焦顯微鏡和偽原子力測量，精確測量和檢測臨界尺寸、圖案位置和形狀以及器件特性。SkyScan高分辨率檢查工具用於檢測高分辨率、精確度和準確性的高頻特性。鳳凰口罩用於驗證高分辨率抗蝕劑特征的圖樣形狀精度。數據采集和分析軟件工具可用於進一步分析所收集的數據。該資產還提供過程模擬模型，在將抗蝕劑提交光刻之前預測圖樣尺寸值。內置的流程配方庫包含大量的光刻工藝和配方列表，以幫助簡化操作並確保可重復性。該模型具有溫度控制室，以支持空氣溫度控制蝕刻過程。TEL Mercury MP光刻設備為快速、準確和可重現的光刻和成像結果提供了完整的平臺。該系統的高分辨率和精確度、最先進的計量和檢驗解決方案,以及廣泛的配方庫,使其成為從半導體器件制造到微流體等一系列應用的理想選擇。