二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury MP #9250089 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Mercury MP光刻設備是一種光刻系統，設計用於制造集成電路和微結構。它是基於一個掃描的激光暴露的抗性塗層底物，然後用化學工藝開發出來。FSI水星MP單元的波長為248nm，數值孔徑為0.3。它能夠自動檢測和調整激光束的形狀和位置，以確保在基板上產生準確的圖樣。該諧振器的設計旨在進一步提高圖像的吞吐量和質量，而RLS（Reticle Level Control）機器則確保精確的叠加對準。該系統包括一個先進的成像和光掩碼工具,能夠提供低至28nm的圖樣圖像。資產由兩個光掩碼組成，一個用於主體圖案，一個用於接觸圖案。光掩模由氣隙成像軟件支持,該軟件允許復雜的掩模叠加對準和光刻膠工藝優化。該模型可用於各種光刻工藝，包括自旋塗層、接觸和投影印刷，以及納米尺度的曝光。它是為廣泛的晶圓尺寸而設計的，直徑從4英寸到8英寸不等。此外,設備的內置溫度控制單元可確保卓越的工藝穩定性。TEL Mercury MP系統提供卓越的成像能力和嚴密的工藝控制，並提供出色的光阻均勻性。它還允許快速成像和過程周轉時間,降低陣列制作成本,並最大限度地減少零件返工,這使得它成為高速、精確成像和高效過程控制至關重要的應用程序的理想選擇。