二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury MP #9269944 待售

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FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury MP
已售出
ID: 9269944
晶圓大小: 6"
Spray cleaning system, 6".
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Mercury MP是一種為過程控制和優化而設計的光致抗蝕劑設備。用於制造電子器件,廣泛用於半導體行業。FSI Mercury MP是一個自動化的抗蝕劑剝離系統,使用光和化學兩種方法來實現一致的、高分辨率的光刻結果。它利用先進的設計來實現可定制的抗蝕層曝光控制和優化。使用大功率紅外燈進行光刻過程,利用短波長光來清除抗蝕層。光線強度受到仔細監控,並且可以調整到廣泛的數值範圍,以達到所需的光刻結果。這種能力還有助於最大限度地減少抵抗過度暴露或過度暴露的風險,以及其他與光致抗蝕劑有關的問題。TEL Mercury MP還配備了先進的化學洗滌裝置。這臺機器的設計目的是有效去除抗蝕層的裸露部分,只留下需要形成的部分。這是通過將化學溶液引入腔室並將其淹沒在工件上來完成的。最後,Mercury MP提供了一個軟件套件,該套件旨在優化抵抗過程。它可以用來分析來自光刻工具的數據,調整光強度和監控整個過程步驟。這樣可以在制造過程中實現更大的控制和靈活性,並在抵抗剝離過程中實現更快的循環時間。TOKYO ELECTRON MERCURY MP是一種高效可靠的光刻材料,產生了巨大的成果。與市場上的其他系統相比,它的高級設計提供了更好的控制、更好的分辨率和更高的效率。其自動化特性也使其成為工業光刻的絕佳選擇。此模型具有可靠的結果、易於使用的控制和軟件,是需要可靠、經濟高效解決方案的公司的理想選擇。
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