二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury MP #9271639 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Mercury MP是由FSI與TEL Tokyo Electronics合作開發的光阻設備。它是一種高通量的工具，用於通過曝光晶片上的光致抗蝕層來在半導體晶片上實現所需的模式。它具有很高的性能和準確性，使其成為產生多種模式的強大系統。該裝置設有曝光機、晶圓預處理工具、曝光後烘烤資產和跟蹤模型。曝光設備采用激光曝光源，能夠產生強烈的曝光圖，以及自動視覺系統，能夠將曝光圖準確地置於晶圓的光敏層上。這樣可以確保所產生的圖樣具有很高的準確性和高精度。晶片預處理裝置有一個自動化的自旋-漂洗-烘幹機循環，結合了清潔、漂洗和幹燥步驟，以確保晶片在暴露前沒有汙染物。曝光後烘焙機提供光刻層的均勻高溫烘烤，是成像性能良好所必需的。最後,跟蹤工具提供最高級別的裝卸性能,其機械和電氣系統旨在確保安全、高效和可重復的結果。該資產的占地面積很小,但容量卻很大,這使其成為緊湊型處理設備的經濟高效解決方案。該模型的特點結合了強大的性能、精度和吞吐量,非常適合在半導體晶片上產生多種模式。設備操作方便，可集成到現有的半導體制造工藝中。