二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury MP #9274762 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON MERCURY MP是一種「光刻」設備，設計用於實現尺寸小於100 nm的器件的超精細陣列。FSI Mercury MP可以通過多種方式來完成這種精密的制圖，包括電子束光刻、X射線光刻、離子束光刻、直接激光光刻和納米印記光刻。該系統采用G線 248nm和I線 365nm超細光刻透鏡，提供最大線寬13.5nm的高分辨率。此外，還采用數字束強度控制裝置對電子束進行精確控制，以實現高精度圖樣，提高生產過程中的覆蓋精度。為了進行圖像優化，TEL Mercury MP采用了精密的雙點成像技術，允許使用兩個不同圖樣的圖像。為了確保高吞吐量,TOKYO ELECTRON Mercury MP具有圖像、參數和掩碼數據的高級集成管理功能。這使技術人員能夠在生產現場無縫訪問這些信息。機器允許控制工藝條件，以精確控制光刻工藝。這包括溫度、濕度、顆粒控制和空氣清潔，可以逐機調節，全部實時監控。除了精確的制圖能力外，Mercury MP還通過其全自動制造過程提供無可挑剔的設備集成。這樣可以精確控制光刻、蝕刻、加載和掩蔽過程,從而實現高產、高精度的設備生產。此外，過程控制由機載高級控制單元輔助，可以即時調整生產。歸根結底,FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Mercury MP工具旨在以最高的分辨率和準確性生產超精細設備尺寸,使技術人員能夠以可靠、一致和高效的方式制造客戶所需的設備。這種光刻資產是先進設備制造的寶貴工具。